การใช้ PlasmaDetek2(PED) และ MultiDetek2(GC)
การใช้ PlasmaDetek2(PED) และ MultiDetek2(GC)
การใช้ PlasmaDetek2 (PED) และ MultiDetek2 (GC) การวิเคราะห์ส่วนต่อพันล้านที่ต่ำกว่าระดับ 1ppb กลายเป็นไปได้ทั้งหมดในที่เดียว
การวิเคราะห์การเจือปนของ Sub-ppb ของ ไฮโดรเจน(H2)-อาร์กอน(Ar)-ไนโตรเจน(N2)-มีเทน(CH4)-คาร์บอนมอนอกไซด์(CO)-คาร์บอนไดออกไซด์(Co2)-NMHC สามารถทำได้ในสภาวะแวดล้อมของแก๊สหลายชนิด ระบบบันทึกของโปรแกรมนี้จะแสดงผลลัพธ์ที่ได้จากการตรวจสอบของppb ไฮโดรเจน(H2)-คาร์บอนมอนอกไซด์(CO)-ไนโตรเจน(N2)-มีเทน(CH4)-คาร์บอนไดออกไซด์(Co2) ใน อาร์กอน(Ar)-ฮีเลียม(He)-ออกซิเจน(O2)เทคโนโลยีการตรวจจับระบบ MultiDetek2 สำหรับ ไฮโดรเจน(H2)-คาร์บอนมอนอกไซด์(CO)-ไนโตรเจน(N2)-มีเทน(CH4)-คาร์บอนไดออกไซด์(Co2) ใน อาร์กอน(Ar)-ฮีเลียม(He)-ออกซิเจน(O2)ใช้เครื่องตรวจจับการแผ่รังสีพลาสม่าที่เพิ่มขึ้น (PlasmaDetek2) การกำหนดค่าเฉพาะของเครื่องตรวจจับพลาสมาที่ใช้ ช่วยให้สามารถเลือกตรวจจับแก๊สเจือปน หรือแก๊สที่ไม่พึงประสงค์ เช่น ไฮโดรเจน(H2)-คาร์บอนมอนอกไซด์(CO)-ไนโตรเจน(N2)-มีเทน(CH4)-คาร์บอนไดออกไซด์(Co2) ใน อาร์กอน(Ar)-ฮีเลียม(He)-ออกซิเจน(O2) ที่ต้องการตรวจจับสามารถทำได้อย่างละเอียด
หลายปีที่ผ่านมาการทำงานระยะยาวเกี่ยวกับเทคโนโลยีพลาสม่าที่จดสิทธิบัตรไว้ใช้สำหรับการตรวจจับ ppb ต่ำจะช่วยให้สามารถตรวจจับ ppb ที่เป็นเลขหลักเดียวได้ถึง 0.100ppb,มีความสามารถในการวัดเมทริกซ์แก๊สที่สมบูรณ์ที่ปรากฏ1แผนภูมิ
ข้อมูลนี้แสดงให้เห็นถึงสมรรถนะของระบบด้วยการนำเสนอโครมาโตแกรมที่ได้รับทั้งหมดที่ความเข้มข้นต่ำของไฮโดรเจน(H2)-คาร์บอนมอนอกไซด์(CO)-ไนโตรเจน(N2)-มีเทน(CH4)-คาร์บอนไดออกไซด์(Co2) ใน อาร์กอน(Ar)-ฮีเลียม(He)-ออกซิเจน(O2) ในหน่วย ppb เพื่อแสดง ค่าจริงและผลในสภาพแวดล้อมอุตสาหกรรม
Using the PlasmaDetek2 (PED) and the MultiDetek2 (GC), analyses of part per billion below 1ppb level become feasible all in one
enclosure. The analyses of trace sub ppb impurities of H2-Ar-N2-CH4-CO-Co2-NMHC can be performed in multiple gas backgrounds.This application note will show the results obtained for sub ppb trace H2-CO-N2-CH4-Co2 in Argon-Helium-Oxygen.
The MultiDetek2 system detection technology is based on the enhanced plasma emission detector (PlasmaDetek2). The specific
configuration of the plasma detector that was used, allows a selective and sensitive detection of the desired impurities and blocks
the undesired interference gases. Last years long-term work on the patented plasma technology used for low ppb detection gives the
ability to detect single-digit ppb down to 0.100ppb. It offers the capacity of measuring the complete gas matrix that appears on chart
1, all in one compact industrial GC chassis without the use of any traps and/or FID as commonly installed by other GC manufacturers.This document demonstrates the performances of the system by offering chromatograms all obtained at low ppb concentration to show the real peak shapes and results in an industrial environment. For more details about other UHP gases application notes for SEMI ,please refer to the application note LD15-02 and LD16-03 that give additional information.