RTP

แก๊สต่างๆที่นำมาใช้ในงาน RTP ไม่ว่าจะเป็น อาร์กอน ไฮโดรเจน ออกซิเจน ไนโตรเจน ไนตรัสออกไซด์ กรดไฮโดรคลอริก และแอมโมเนีย ต่างก็ต้องมีความบริสุทธิ์สูง หรือ มีสิ่งเจือปนน้อยๆนั่นเอง และ Impurity ของแก๊สเกือบทุกชนิด ก็คือออกซิเจน ที่จะต้องมีการ monitor และควบคุม ในระหว่างกระบวนการ RTP In Rapid Thermal Processing (RTP) of semiconductor wafers, different metal compounds, such as tungsten, cobalt, platinum, aluminum, or gallium, can be deposited onto the wafer by essentially baking the wafer in the presence…