วัดออกซิเจนในงาน SEMICONDUCTOR PROCESSING EQUIPMENT Potential OEM
มีกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์มากมายที่เกิดขึ้นในห้องก๊าซเฉื่อย สิ่งเหล่านี้รวมถึงการสะสมไอของสารเคมี (CVD), การประมวลผลด้วยความร้อนอย่างรวดเร็ว (RTP) และการกัดเวเฟอร์ บริษัทใดก็ตามที่ผลิตอุปกรณ์ประเภทนี้จะต้องมีเครื่องวิเคราะห์ออกซิเจนในเครื่องของตน
There are a wide range of semiconductor processes that take place in an inert gas chamber. Some of these include Chemical Vapor Deposition (CVD), Rapid Thermal Processing (RTP), and wafer etching. Any company that produces this type of equipment will need to include an oxygen analyzer on their machine.
